| 摘要 |
<p>本発明は、粒子（１０）を製造する方法であって、第１の化学元素（典型的には、ケイ素）を含み、流れの方向（１１）に進む少なくとも１つの反応流（１）を、反応チャンバへと導入するステップと、各々の反応流（１）に反応流ごとに１つの相互作用領域（１４）において交わるように反応チャンバを通って放射線ビーム（３）を投射し、各々の反応流において第１の化学元素を含む粒子コアを形成するステップと、各々の反応流（１）と相互作用する第２の化学元素（例えば、炭素）を反応チャンバへと導入し、粒子コアを第２の化学元素を含む層で覆うステップとを含む方法に関する。各々の反応流（１）は、好ましくは第１の化学元素を酸化する物質を含まない。好ましくは、単位時間あたりに導入される第２の元素１つにつき、単位時間あたりに導入される第１の元素の原子が少なくとも２つという比である。第２の元素は、好ましくは少なくとも１つの閉じ込め流（２）にて導入される。</p> |
