Prozesskammerabdeck-Anordnung und Prozesskammer-Anordnung
摘要
<p>Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerabdeckung (102) zum Abdecken einer Öffnung (200g) einer Prozesskammer (200p); und eine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe (106), wobei die Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung (102) an ihrer Prozesskammerseite (102i) befestigt ist.</p>
