| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING PURE TRISILYLAMINE |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Trisilylamin in der Flüssigphase, indem man Monochlorsilan in einem Lösungsmittel bei erhöhter Temperatur flüssig vorlegt, und das Monochlorsilan mit NH3 in stöchiometrischem Überschuss umsetzt. Dies Herstellung von TSA verläuft germäβ folgender Reaktionsgleichung: 3SiH3CI + 4 NH3 → 3NH4CI + (SiH3)3N.</p> |
| 申请公布号 |
WO2015135698(A1) |
申请公布日期 |
2015.09.17 |
| 申请号 |
WO2015EP52397 |
申请日期 |
2015.02.05 |
| 申请人 |
EVONIK DEGUSSA GMBH;HOPPE, CARL-FRIEDRICH;GÖTZ, CHRISTIAN;UEHLENBRUCK, GOSWIN |
发明人 |
HOPPE, CARL-FRIEDRICH;GÖTZ, CHRISTIAN;UEHLENBRUCK, GOSWIN |
| 分类号 |
B01J8/00;B01J19/00;C01B21/068;C07F7/02;C08G77/62 |
主分类号 |
B01J8/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
