| 摘要 |
<p>製造機器は、材料を担体上に蒸着する。該製造機器はチャンバを画定する筐体を含む。該筐体は、チャンバ内へ該材料又はその前駆体を含む蒸着組成物を導入するための入口を画定する。該筐体は、チャンバから蒸着組成物を排出するための筐体を通る出口も画定する。電極は、該筐体を通って配置され、該電極はチャン内に少なくとも部分的に配置される。受け口は外面を有し、担体を受容するためにチャンバ内の該電極に接続される。放出コーティングが、受け口を担体及びその上に蒸着される材料からの分離を促進し、担体を獲得するために受け口の外面上に配置される。【選択図】図４</p> |
