A METHOD AND ARRANGEMENT FOR REALIZING A VACUUM IN A VACUUM CHAMBER
摘要
<p>본 발명은 진공 챔버(400)에 진공을 실현하는 방법에 관한 것이다. 상기 진공 챔버는 복수의 진공 챔버에 의해 공유된 펌핑 시스템(300)에 연결된다. 상기 방법은 각 진공 챔버를 개별적으로 펌핑 다운하는 단계를 포함한다. 또한, 본 발명은 펌핑 시스템에 연결된 복수의 진공 챔버의 배열구조에 관한 것이다. 이 배열구조에서, 상기 펌핑 시스템은 각 진공 챔버를 개별적으로 펌핑 다운하도록 배열된다.</p>
