Senkrechtes Spin-Transfer-Torque-Speicherbauelement (STTM-Bauelement) mit versetzten Zellen und Verfahren zu deren Ausbildung

摘要

Es werden senkrechte Spin-Transfer-Torque-Speicherbauelemente (STTM-Bauelemente) mit versetzten Zellen und Verfahren zum Herstellen senkrechter STTM-Bauelemente mit versetzten Zellen beschrieben. Beispielsweise enthält ein Spin Torque Transfer-Speicherarray (STTM-Array) eine erste Lastleitung, die über einem Substrat angeordnet ist und nur ein erstes STTM-Bauelement besitzt. Das STTM-Array enthält auch eine zweite Lastleitung, die über dem Substrat bei der ersten Lastleitung angeordnet ist und nur ein zweites STTM-Bauelement besitzt, wobei das zweite STTM-Bauelement nicht koplanar zum ersten STTM-Bauelement ist.