| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Untersuchen von Oberflächeneigenschaften mit einem Gehäuse, einer Lichtquelle, welche Licht durch eine Öffnung des Gehäuses auf eine zu untersuchende Oberfläche richtet, mit einer ersten Detektoreinrichtung, welche unter einem ersten vorgegebenen Winkel bezüglich des von der Lichtquelle auf die Oberfläche eingestrahlten Lichtstrahls angeordnet ist, mit einer zweiten Detektoreinrichtung, welche unter einem zweiten vorgegebenen Winkel bezüglich der von der Lichtquelle auf die Oberfläche eingestrahlten Lichtstrahls angeordnet ist und mit einer dritten Detektoreinrichtung, welche innerhalb des Gehäuses unter einem dritten vorgegebenen Winkel bezüglich des von der Lichtquelle auf die Oberfläche eingestrahlten Lichtstrahls angeordnet ist. Erfindungsgemäß weist die Vorrichtung wenigstens zwei Filterelemente mit voneinander unterschiedlichen optischen Eigenschaften auf, welche auf einem gemeinsamen und gegenüber der Lichtquelle bewegbaren Träger angeordnet sind, derart, dass wahlweise jedes dieser Filterelemente in einen Strahlengang zwischen der Lichtquelle und der Oberfläche bringbar ist.</p> |
