发明名称 互连线反向电流产生电路
摘要 本发明公开了一种集成电路金属互连线可自动产生反向电流的电路,包括第一至第四开关电路;第一开关电路的两个控制端分别连接上级电路输出MOSFET和下级电路输入MOSFET的控制极,输入端连接Vss,输出端连接节点A;第二开关电路的两个控制端分别连接输出MOSFET和输入MOSFET的控制极,输入端连接Vdd,输出端连接节点A;第三开关电路的输入端连接互连线靠近输出MOSFET的输出极的一端,输出端连接Vss,控制端连接节点A;第四开关电路的输入端连接Vdd,输出端连接互连线靠近输入MOSFET的输入极的一端,控制端连接节点A。当上、下级电路关闭即空置时该电路在互连线中会产生与正常工作电流相反的电流,抑制了金属互连线中单一方向电流造成的电迁移效应,提高了互连线的可靠性,延长了集成电路的使用寿命。
申请公布号 CN103165584B 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201110427581.3 申请日期 2011.12.19
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 冯军宏;甘正浩
分类号 H01L23/58(2006.01)I 主分类号 H01L23/58(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 牛峥;王丽琴
主权项 一种互连线反向电流产生电路,其特征在于:包括第一开关电路、第二开关电路、第三开关电路和第四开关电路;所述第一开关电路的第一控制端与上级电路输出MOSFET的控制极串连,第二控制端与下级电路输入MOSFET的控制极电连接,输入端与第一电源电压电连接,输出端与第二开关电路的输出端电连接;所述第二开关电路的第一控制端与上级电路输出MOSFET的控制极电连接,第二控制端与下级电路输入MOSFET的控制极电连接,输入端与第二电源电压电连接,输出端与第一开关电路的输出端电连接;所述第三开关电路的唯一控制端与第一、第二开关电路的输出端电连接,输入端与第一电源电压电连接,输出端与所述互连线靠近上级电路输出MOSFET的输出极的一端电连接;所述第四开关电路的唯一控制端与第一、第二开关电路的输出端电连接,输入端与第二电源电压电连接;输出端与所述互连线靠近下级电路输入MOSFET的输入极的一端电连接;所述第一开关电路的输出端、第二开关电路的输出端、第三开关电路的控制端和第四开关电路的控制端电连接于节点A;所述第二电源电压高于第一电源电压;当所述上级电路和下级电路工作时,第一开关电路开启、第二开关电路关闭、第三开关电路关闭、第四开关电路关闭;当所述上级电路和下级电路关闭时,第一开关电路关闭、第二开关电路开启、第三开关电路开启、第四开关电路开启。
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