一种金属电沉积方法

摘要

本发明公开了一种金属电沉积方法，在电沉积过程中，由阳极和阴极在电解液中形成电场，对电解液施加平行或垂直于电场方向的超声波，并对电解液、阴极、阳极施加平行或垂直于电场方向的磁场与超声波进行协同作用；同时，对电解液进行机械搅拌，并且通过加热系统使电解液的温度保持稳定，在阴极上电沉积金属材料过程中，选择超声波的方向、频率及功率和磁场的方向及磁场强度与电场的方向进行如下几种方案的匹配。在阴极上电沉积金属材料过程中，选择超声波的方向及功率与磁场的方向及强度进行协同耦合共同作用于电解液，以提高电沉积的速度和致密度。

主权项

一种金属电沉积方法，其特征在于：在电沉积过程中，由阳极和阴极在电解液中形成电场，对电解液施加平行或垂直于电场方向的超声波，并对电解液、阴极、阳极施加平行或垂直于电场方向的磁场与超声波进行协同作用，使金属离子团不断被打碎；同时，对电解液进行机械搅拌，并且通过加热系统使电解液的温度保持稳定，在阴极上电沉积金属材料过程中，选择超声波的方向、频率及功率和磁场的方向及磁场强度B与电场的方向进行如下几种方案的匹配；其中，方案一，超声波方向垂直于电场方向，磁场方向垂直于电场方向，超声波频率为45kHz，超声波功率为120～300W，磁场强度B为0.5～1.0T；方案二，超声波方向垂直于电场方向，磁场方向平行于电场方向，超声波频率为45kHz，超声波功率为120～300W，磁场强度B为0.5～1.0T；方案三，超声波方向平行于电场方向，磁场方向平行于电场方向，超声波频率为45kHz，超声波功率为120～300W，磁场强度B为0.5～1.0T；方案四，超声波方向平行于电场方向，磁场方向垂直于电场方向，超声波频率为45kHz，超声波功率为120～300W，磁场强度B为0.5～1.0T。