| 发明名称 | 锍盐、光产酸剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种新型锍盐和新型光产酸剂等，该锍盐对i射线具有高的感光性，该光产酸剂含有对i射线具有高的感光性、且与环氧化合物等阳离子聚合性化合物的相容性高、其配合物储存稳定性优异的锍盐。本发明涉及下述通式(1)表示的锍盐和以含有该锍盐为特征的光产酸剂等。〔式(1)中的R表示烷基或者芳基，R<sup>1</sup>～R<sup>3</sup>相互独立地表示烷基、羟基、烷氧基、芳基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基、氰基、硝基或者卤素原子。m<sup>1</sup>～m<sup>3</sup>各自表示R<sup>1</sup>～R<sup>3</sup>的个数，m<sup>1</sup>表示0～4的整数，m<sup>2</sup>和m<sup>3</sup>表示0～5的整数，X<sup>-</sup>表示一价的多原子阴离子〕。<img file="DDA0000739237230000011.GIF" wi="1125" he="419" /> | ||
| 申请公布号 | CN104918914A | 申请公布日期 | 2015.09.16 |
| 申请号 | CN201280077742.3 | 申请日期 | 2012.10.18 |
| 申请人 | 三亚普罗股份有限公司 | 发明人 | 池田卓也;高嶋祐作;铃木一生 |
| 分类号 | C07C381/12(2006.01)I;C08G59/68(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C07C381/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 苗堃;金世煜 |
| 主权项 | 一种由下述通式(1)表示的锍盐，<img file="FDA0000739237210000011.GIF" wi="1125" he="419" />式(1)中的R表示烷基或者芳基，R<sup>1</sup>～R<sup>3</sup>相互独立地表示烷基、羟基、烷氧基、芳基、芳氧基、羟基(聚)亚烷氧基、氰基、硝基或者卤素原子，m<sup>1</sup>～m<sup>3</sup>各自表示R<sup>1</sup>～R<sup>3</sup>的个数，m<sup>1</sup>表示0～4的整数，m<sup>2</sup>和m<sup>3</sup>表示0～5的整数，X<sup>‑</sup>表示一价的多原子阴离子。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||