发明名称 | SCB集成纳米含能复合薄膜的电爆换能元 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种SCB集成Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>纳米含能复合薄膜的电爆换能元,由下向上依次包括Si基底、SiO<sub>2</sub>绝缘层、N型重掺杂多晶硅桥、金属焊盘、Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>氧化物纳米复合薄膜,Si基底的上表面有SiO<sub>2</sub>绝缘层,SiO<sub>2</sub>绝缘层上表面沉积生长一层N型重掺杂多晶硅层,N型重掺杂多晶硅层的中间部分刻蚀形成N型重掺杂多晶硅桥,N型重掺杂多晶硅桥两侧的N型重掺杂多晶硅层上表面均设置金属焊盘,N型重掺杂多晶硅桥的桥区上方覆盖Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>氧化物纳米复合薄膜,所述Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>氧化物纳米复合薄膜的底层为M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>薄膜,M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>薄膜和Al薄膜由下至上交替分布,且M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>薄膜和Al薄膜的厚度均为纳米级。本实用新型提高了电爆换能元的安全性和点火能力,电爆换能元的MEMS制作工艺提高了与火工品其他部件的集成度。 | ||
申请公布号 | CN204649089U | 申请公布日期 | 2015.09.16 |
申请号 | CN201520191552.5 | 申请日期 | 2015.04.01 |
申请人 | 南京理工大学 | 发明人 | 沈瑞琪;刘增军;朱朋;叶迎华;吴立志;胡艳 |
分类号 | F42B3/13(2006.01)I | 主分类号 | F42B3/13(2006.01)I |
代理机构 | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人 | 朱显国 |
主权项 | 一种SCB集成Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>纳米含能复合薄膜的电爆换能元,其特征在于,由下向上依次包括Si基底(1)、SiO<sub>2</sub>绝缘层(2)、N型重掺杂多晶硅桥(3)、金属焊盘(4)、Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>氧化物纳米复合薄膜(5),所述Si基底(1)的上表面有SiO<sub>2</sub>绝缘层(2),SiO<sub>2</sub>绝缘层(2)上表面沉积生长一层N型重掺杂多晶硅层,N型重掺杂多晶硅层的中间部分刻蚀形成N型重掺杂多晶硅桥(3),N型重掺杂多晶硅桥(3)两侧的N型重掺杂多晶硅层上表面均设置金属焊盘(4),N型重掺杂多晶硅桥(3)的桥区上方覆盖Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>氧化物纳米复合薄膜(5),所述Al/M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>氧化物纳米复合薄膜(5)的底层为M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>薄膜,M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>薄膜和Al薄膜由下至上交替分布,且M<sub>x</sub>O<sub>y</sub>薄膜和Al薄膜的厚度均为纳米级。 | ||
地址 | 210094 江苏省南京市孝陵卫200号 |