一种磁场旋转磁控柱弧靶

摘要

本实用新型公开了一种磁场旋转磁控柱弧靶，包括靶座，分水套，传动机构，靶体，防水罩和磁轴。靶座包括大法兰，以及大法兰下部连接的屏蔽罩，大法兰上部的密封环、密封座和绝缘压环；分水套含带支架分水环、密封轴座，以及密封轴座的电极连接片和密封轴座内的带动磁芯部旋转轴；磁轴包括磁轭和装配在其槽内的磁体；防水罩由不锈钢圆管和两端可拆卸密封垫将磁轭的上下端密封；靶体由结构对称的靶材和用于密封水的端盖组成；电机带动大小齿轮传动组，进而带动磁轴匀速旋转。使用上述结构的磁场旋转磁控柱弧靶，有益于靶材利用率提高；极大地降低故障率，延长单次使用寿命；结构简单，方便装配及检修；融入一体化设计理念，利于快捷更换靶。

主权项

一种磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于：包括靶座，分水套，传动机构，靶管，防水罩和磁轴；所述靶座包括大法兰，大法兰下部连接有屏蔽罩，大法兰上设有密封环，密封环上为密封座，密封座上为绝缘压环；所述分水套通过螺钉与密封座连接，分水套内部被分水环分隔成上进水室和下出水室；所述分水环固定在支架上，支架上开设有均分的孔；所述支架固定在密封轴座上，密封轴座与分水套连接，密封轴座内装有带动磁芯部旋转的轴，电极连接片固定在密封轴座上；所述传动机构的小齿轮与大齿轮啮合，大齿轮通过绝缘环与磁芯旋转轴绝缘，绝缘环下的支承环隔开绝缘环和轴承压环；传动机构的可逆调速电机固定在电机支承板上，电机支承板固定在大法兰上；靶体包括圆管状、结构对称的靶材，靶管上端与密封座连接，靶管下端和靶材螺纹连接并密封靶管内的水；所述防水罩通过不锈钢管套、管套上端的密封压垫、磁轭上端和磁轭下端实现磁轴外水的密封；所述磁轴包括磁轭和磁体。