发明名称 |
微扫描镜的摆动侦测装置及其摆动侦测方法 |
摘要 |
一种摆动侦测装置,适用于微扫描镜,并包括振荡电路、讯号产生电路与相位侦测电路。振荡电路响应于微扫描镜的等效电容而产生频率调变讯号。讯号产生电路依据频率调变讯号产生具有固定频率的载波讯号。相位侦测电路依据频率调变讯号与载波讯号的相位差来产生摆动位置讯号。 |
申请公布号 |
CN104914570A |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
CN201410084687.1 |
申请日期 |
2014.03.10 |
申请人 |
光宝科技股份有限公司 |
发明人 |
欧德健;林文隆;李张丰 |
分类号 |
G02B26/10(2006.01)I;G01B7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/10(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种摆动侦测装置,适用于一微扫描镜,并包括:一振荡电路,响应于该微扫描镜的一等效电容而产生一频率调变讯号;一讯号产生电路,依据该频率调变讯号产生具有固定频率的一载波讯号;以及一相位侦测电路,依据该频率调变讯号与该载波讯号的相位差来产生一摆动位置讯号。 |
地址 |
中国台湾台北市内湖区瑞光路392号22楼 |