发明名称 METROLOGY SYSTEM FOR IMAGING WORKPIECE SURFACES AT HIGH ROBOT TRANSFER SPEEDS
摘要 <p>계측 시스템은 트랜싯 경로 부분을 횡단하여 연장하고 작업부재 직경에 대응하는 시야를 가지면서 로봇의 작업부재 트랜싯 경로를 향하는 세장형의 정지된 카메라 픽셀 어레이, 및 일반적으로 픽셀 어레이와 평행한 정지된 세장형의 발광 어레이를 갖는다. 트랜싯 경로를 통해 로봇이 작업부재를 이동시키는 동안, 영상 제어 프로세서는 카메라가 연속적인 영상 프레임들을 포착하게 한다.</p>
申请公布号 KR101553537(B1) 申请公布日期 2015.09.16
申请号 KR20127024076 申请日期 2011.01.21
申请人 发明人
分类号 B25J13/08;G01B11/00;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B25J13/08
代理机构 代理人
主权项
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