用于设计半导体装置之系统以及方法及其电脑可读取记录媒体;SYSTEM FOR DESIGNING A SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD AND COMPUTER READABLE MEDIUM THEREOF

摘要

一种系统与方法包含提供积体电路设计的布局，透过处理器从该布局当中产生复数个多图案化分解单元，决定第一光罩与第二光罩之间的最大光罩偏移量，利用最大光罩偏移量定义之范围内之一或多个光罩偏移量，模拟针对该些多图案化分解单元中每一者之最劣情况效能数值。此外，该些多图案化分解单元中每一者包含复数个图案，该些图案分离出多图案化光罩组之第一光罩与第二光罩。