具有反射防止功能之构件及其制造方法

摘要

提供在基材上均匀形成薄的氧化铝膜而可以取得均匀之微细凹凸状之反射防止构造的具有反射防止功能之构件及其制造方法。具有反射防止功能之构件(10)具备基材(11)、被形成在基材(11)之表面的反射防止膜(13)。反射防止膜(13)系藉由利用高温之热水或水蒸气对以原子层堆积法所形成之氧化铝膜进行水热处理，形成微细凹凸构造。