功率分配器

摘要

本发明描述了一种功率分配器和/或合成器。该功率分配器可被提供为宽带无源的N分功率分配器，可被有利地用于给等离子体源中的多个电极提供功率。功率分配器包括传输线和围绕传输线布置的N个次级绕组。

主权项

一种功率分配器，包括传输线并具有围绕所述传输线布置的N个次级绕组，所述传输线能够操作地提供方位磁场，所述方位磁场将功率感应耦合至所述N个次级绕组内，以提供对来自所述传输线的功率的N分分配，其中，所述传输线是短接的，从而在所述传输线上能够操作地产生驻波以增加所述方位磁场的幅值，结果所述次级绕组上感应产生的功率通过短接传输线的使用而得到增强。