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发明名称
半导体装置
摘要
本发明提供一种具有累积有压缩应力之GaN之半导体装置。;实施形态之半导体装置包含GaN层、及AlXGa1-XN(0≦X<1)层。上述AlXGa1-XN(0≦X<1)层系与上述GaN层接触地设于上述GaN层之上,且含有C。
申请公布号
TW201535731
申请公布日期
2015.09.16
申请号
TW103121984
申请日期
2014.06.25
申请人
东芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
矶部康裕 ISOBE, YASUHIRO;杉山直治 SUGIYAMA, NAOHARU
分类号
H01L29/778(2006.01);H01L29/40(2006.01)
主分类号
H01L29/778(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本 JP
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