半导体元件之传输系统及传输方法;SYSTEM AND METHOD FOR TRANSFERRING SEMICONDUCTOR ELEMENT

摘要

本发明提供一种传输系统，用以传输一第一半导体元件，包括一制程腔室和一第一中继站，其中该第一中继站具有一第一腔室、一第二腔室、一第三腔室和一外部腔室，第二腔室连接第一腔室、第三腔室与制程腔室，并保持真空状态。前述第一半导体元件依序由外部腔室移动经过第一腔室和第二腔室至制程腔室，且前述第一半导体元件依序由制程腔室移动经过第二腔室和第三腔室至外部腔室。