形成嵌入电阻之可调温度系数的方法;METHODS OF FORMING TUNEABLE TEMPERATURE COEFFICIENT FOR EMBEDDED RESISTORS

摘要

本发明说明了形成具有可调电阻温度系数的电阻器结构之方法。那些方法及结构可包含：在邻接一装置基材上的源极/汲极开口的一电阻器材料中形成一开口；在该电阻器材料与该等源极/汲极开口之间形成一介电材料；以及修改该电阻器材料，其中系由该修改调整该电阻器材料之温度系数电阻(TCR)。该修改包括：调整该电阻器之长度；形成一复合电阻器结构；以及形成一替代电阻器。