用于使用多角度Ｘ光反射散射（ＸＲＳ）量测周期结构之方法及系统;METHODS AND SYSTEMS FOR MEASURING PERIODIC STRUCTURES USING MULTI-ANGLE X-RAY REFLECTANCE SCATTEROMETRY (XRS)

摘要

本发明揭示用于使用多角度X光反射散射(XRS)量测周期结构之方法及系统。举例而言，一种藉由X光反射散射量测一样本之方法涉及将一入射X光束照射于具有一周期结构之一样本上以产生一经散射X光束，该入射X光束同时提供复数个入射角及复数个方位角。该方法亦涉及收集该经散射X光束之至少一部分。