控制抛光垫(研磨垫)材料光透射率的方法及系统

摘要

本发明揭露提供一用来控制一抛光垫(研磨垫)材料光透射率的方法及其系统，其包括：调整控制参数以决定一抛光垫(研磨垫)材料的光透射率；该控制参数又包括预加工控制，铸造成型控制，和/或固化控制，该方法又提供组装一抛光垫(研磨垫)，用来控制其光透射率，同时，该系统亦提供一种具有能控制光学透射率的抛光垫(研磨垫)。