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经营范围
发明名称
荷電粒子ビーム検査方法及び装置
摘要
申请公布号
JP5779210(B2)
申请公布日期
2015.09.16
申请号
JP20130174925
申请日期
2013.08.26
申请人
发明人
分类号
G01N23/225;G01B15/04;G01B15/08;G01N23/203;H01L21/66
主分类号
G01N23/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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