一种稳定输出的考夫曼离子源

摘要

本实用新型涉及一种新型离子源，特别涉及一种稳定输出的考夫曼离子源。包括进气孔、阴极和阳极，其特征在于：所述装置的进气孔为阵列结构。本实用新型有益效果：多孔阵列装置，减小了单一孔径气流不稳的缺陷，提高反应气体接触面积，增加接触几率，使离子束平稳输出。

主权项

一种稳定输出的考夫曼离子源，包括包括进气孔(1)、阴极(2)和阳极(3)，其特征在于：所述装置的进气孔(1)为阵列结构。