发明名称 薄型工件载具
摘要 本实用新型的薄型工件载具,基本上包括有一载体以及一覆板;其中:载体具有一供乘载薄型工件的承载面,且于承载面上设有至少一供与薄型工件接触的加工部;覆板固设于载体的承载面上,其设有至少一与加工部对应,且供所对应的加工部外露的定位穿孔。从而可由定位穿孔的孔壁对薄型工件产生较佳的机械定位效果,薄型工件可制得较佳的平面精度,同时省去对薄型工件与载体之间的黏着动作和减少因黏着的后续清洗作业、并减少加工后的异常状况,也可使载体供与薄型工件接触的加工部长效维持应有的平整度,有效延长整体薄型工件载具的使用寿命。
申请公布号 CN204639898U 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201520148753.7 申请日期 2015.03.16
申请人 凯乐士股份有限公司 发明人 林博文;魏嘉宏
分类号 B24B37/30(2012.01)I 主分类号 B24B37/30(2012.01)I
代理机构 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人 黄超;周春发
主权项 一种薄型工件载具,包括有:一载体以及一覆板,其特征在于:该载体具有一供乘载薄型工件的承载面,且于该承载面上设有至少一供与薄型工件接触的加工部;该覆板固设于该载体的承载面上,该覆板设有至少一与该至少一加工部对应,且供所对应的加工部外露的定位穿孔。
地址 中国台湾桃园市杨梅区高山里高青路22巷20号