发明名称 |
抗蚀刻组合物及其应用 |
摘要 |
本发明涉及一种抗蚀刻组合物,其包含一聚合物及一第一有机溶剂,所述聚合物由包含苯乙烯类单体与丙烯酸酯类单体的聚合单元共聚而成,其中所述聚合物的重均分子量为至少约35000,且以所述抗蚀刻组合物的总重量计,所述聚合物的含量为约20.0重量%至约60.0重量%,所述第一有机溶剂的含量为约40.0重量%至约80.0重量%。所述抗蚀刻组合物可用于制作太阳能电池的选择性发射极。本发明还涉及选择性发射极的制造方法。 |
申请公布号 |
CN102786838B |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
CN201210167830.4 |
申请日期 |
2012.05.25 |
申请人 |
长兴材料工业股份有限公司 |
发明人 |
谢沛蓉;许再发;萧伯卓 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
一种抗蚀刻组合物,其特征在于包含一聚合物及一第一有机溶剂,所述聚合物由包含苯乙烯类单体与丙烯酸酯类单体的聚合单元共聚而成,其中所述聚合物的重均分子量为至少35000,且以所述抗蚀刻组合物的总重量计,所述聚合物的含量为40.0重量%至60.0重量%,所述第一有机溶剂的含量为40.0重量%至60.0重量%。 |
地址 |
中国台湾高雄巿三民区建工路五七八号 |