钝化层之制造方法;METHOD FOR MANUFACTURING PASSIVATION LAYER

摘要

一种钝化层之制造方法，其包含下列步骤。提供薄膜电晶体元件。薄膜电晶体元件包含氧化铟镓锌层。利用矽铝靶材进行溅镀制程，以形成钝化层覆盖在氧化铟镓锌层上。矽铝靶材由铝与矽所组成，且溅镀制程之制程气体包含氧气与氩气。