一种容栅位移传感器

摘要

本发明提供了一种直线位移和角位移栅状电极容栅位移传感器，在栅状电容两电极间充满油脂、胶体之类非气相的流动性介电物质，确保栅状电容电极间电介质环境的稳定性和均匀性，彻底解决了容栅位移传感器对使用环境的敏感，让容栅位移传感器在测量精度上和稳定性上产生一个突破，实现在不需要任何机械放大的情况下，稳定可靠地达到直进千分位或以上的测量精度。

主权项

一种容栅位移传感器，主要包括栅状发射电极组、栅状耦合电极组、接收电极和侦测电路，发射电极组和接收电极分别与侦测电路相连接；其特征在于：所述栅状发射电极组和接收电极制备在收发电极基板上，所述栅状耦合电极组制备在耦合电极基板上，收发电极基板与耦合电极基板相重叠，发射电极组和接收电极与耦合电极组绝缘隔离，耦合电极基板与收发电极基板可相对移动，收发电极基板与耦合电极基板之间填充有非气相的流动性介电物质。