板状物的加工方法

摘要

本发明提供板状物的加工方法。在交替地实施将切削刀定位于形成于板状物上的分割预定线并使X轴移动构件工作，从而沿着分割预定线切削板状物的切削工序、和按照存储于控制构件的存储器的分割预定线的间隔使Y轴移动构件工作并沿Y轴方向分度进给卡盘台和切削刀的分度进给工序时，在对规定的数量的分割预定线实施了切削工序时，实施偏差检测工序，由被分度进给的切削刀在板状物的外周部或支撑板状物的保护带略微形成切入槽，通过摄像构件对切入槽的位置和分割预定线的位置摄像并检测偏差的有无，在偏差检测工序中根据形成切入槽时的切削刀的旋转中心的X坐标(X0)、切入槽的终点的坐标(X1)和切削刀的半径(R)，通过式求出切削刀的切入量(ΔZ)。

主权项

一种板状物的加工方法，使用切削装置沿着分割预定线切削保持于卡盘台的保持面上的板状物，其中，该切削装置具有：该卡盘台，其具有保持板状物的保持面；切削构件，其具有切削刀，该切削刀保持于该卡盘台的保持面上，切削板状物；X轴移动构件，其使该卡盘台与该切削构件沿X轴方向进行相对移动；Y轴移动构件，其使该卡盘台与该切削构件沿与X轴方向正交的Y轴方向进行相对移动；Z轴移动构件，其使该切削构件沿与X轴方向和Y轴方向正交的Z轴方向进行移动；X轴方向位置检测构件，其对由该X轴移动构件导致的该卡盘台或该切削刀的移动位置进行检测；Y轴方向位置检测构件，其对由该Y轴移动构件导致的该卡盘台或该切削刀的移动位置进行检测；Z轴方向位置检测构件，其对由该Z轴移动构件导致的该切削构件的Z轴方向位置进行检测；摄像构件，其对保持于该卡盘台的保持面上的板状物进行摄像；以及控制构件，其具有存储器，该存储器对平行于板状物而形成的多条分割预定线的间隔进行存储，该板状物的加工方法的特征在于，在交替地实施如下工序、即将该切削刀定位到形成于板状物上的分割预定线并使该X轴移动构件进行工作，从而沿着分割预定线切削板状物的切削工序、以及按照存储于该控制构件的存储器的分割预定线的间隔使该Y轴移动构件进行工作，使该卡盘台和该切削刀沿Y轴方向进行相对分度进给的分度进给工序时，在对规定的数量的分割预定线实施了该切削工序时，实施偏差检测工序，在该偏差检测工序中，通过被分度进给后的该切削刀在支撑板状物的外周部或板状物的保护带上略微形成切入槽，通过该摄像构件对该切入槽的位置和分割预定线的位置进行摄像，来检测偏差的有无，并且在该偏差检测工序中，根据形成了该切入槽时的该切削刀的旋转中心的X坐标(X0)、该切入槽的终点的坐标(X1)和切削刀的半径(R)，通过下式求出切削刀的切入量(ΔZ)，$\mathrm{\Delta Z}=R-\sqrt{{\left(R\right)}^2-{(X1-X0)}^2}.$