| 发明名称 | 接触力传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种接触力传感器及该接触力传感器的制造方法。接触力传感器5通过对硅半导体材料进行加工制作而成。接触力传感器5包括传感器构成体6，所述传感器构成体6包括底部611、及形成于与所述底部611正交的方向上的接触力传递部612。所述接触力传感器5包括应力电力转换元件7，所述电力转换元件7形成于传感器构成体6的底部611，将所述接触力传递部612的位移转换为电信号。 | ||
| 申请公布号 | CN104919292A | 申请公布日期 | 2015.09.16 |
| 申请号 | CN201480003234.X | 申请日期 | 2014.03.18 |
| 申请人 | 世美特株式会社 | 发明人 | 松馆直史;稻村修司 |
| 分类号 | G01L5/00(2006.01)I;G01L1/18(2006.01)I;G01L5/16(2006.01)I | 主分类号 | G01L5/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 马爽;臧建明 |
| 主权项 | 一种接触力传感器，通过对半导体材料进行加工制作而成，其特征在于包括：传感器构成体，具有底部、及形成于与所述底部正交的方向上的接触力传递部；以及应力电力转换元件，形成于所述底部，将所述接触力传递部的位移转换为电信号。 | ||
| 地址 | 日本东京墨田区锦糸1丁目7番7号 | ||