一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置

摘要

本发明公开了一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，包括紫外灯灯座，安装在紫外灯灯座上的紫外灯，用于收纳、保护和聚焦紫外线的紫外灯灯罩，其特征在于，还包括防止被反应磁控溅射镀膜产生的沉积化合物污染紫外灯的多孔金属柱，所述多孔金属柱与紫外灯灯罩连接，多孔金属柱内部开有过孔。紫外线通过多孔金属柱内部的过孔射出，实时辐照在被沉积薄膜的衬底上，紫外灯不会被沉积薄膜材料污染或减小被沉积材料污染，同时还可增大紫外线到达载物台的比例。

主权项

一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，包括紫外灯灯座，安装在紫外灯灯座上的紫外灯，用于收纳、保护和聚焦紫外线的紫外灯灯罩，其特征在于，还包括防止被反应磁控溅射镀膜产生的沉积化合物污染紫外灯的多孔金属柱，所述多孔金属柱与紫外灯灯罩连接，多孔金属柱内部开有过孔，所述紫外灯发光点位于紫外灯灯罩的一个焦点上，紫外灯发射的紫外光经紫外灯灯罩内壁反射后以平行光方式射出。