一种矽片预对准装置及其方法

摘要

本发明系关于一种矽片预对准装置，该装置包括使矽片产生旋转和升降运动的第一装置、使矽片产生平移的第二装置以及包括光源、图像感测器的位置探测装置，该位置探测装置将该矽片的位置资讯带给该图像感测器，该第一装置和第二装置能够根据该图像感测器获取的该位置资讯对该矽片的位置进行调整。本发明还提供了一种对TSV进行预对准方法。