传感器

摘要

描述了一种具有环形或箍形共振器（1）的硅MEMS陀螺仪。所述共振器（1）通过深度反应离子蚀刻技术形成，并且在所述共振器（1）的中轴（4）的任意一侧被形成有插槽（5），该插槽（5）在所述共振器（1）的圆周周围延伸。所述插槽（5）改进所述陀螺仪的品质因子Q而不影响所述共振器的共振频率。

主权项

一种具有品质因子(Q)的传感器，该传感器包括：振动结构，该振动结构包括:平面的环形振动共振器或者箍形振动共振器(1)，所述共振器(1)具有在中轴(4)周围延伸的内圆周(3)和外圆周(2)；驱动装置(12，13)，所述驱动装置(12，13)用于引起所述共振器(1)振动；多个支撑装置(10，11)，所述多个支撑装置(10，11)用于支撑所述共振器(1)以及用于允许所述共振器(1)响应于所述驱动装置(12，13)而在无阻尼振荡模态下振动，其中，所述共振器(1)包括向所述中轴(4)的内部径向放置的第一插槽串(5a)，以及向所述共振器(1)的所述中轴(4)的外部径向放置的第二插槽串(5b)，所述第一插槽串(5a)和所述第二插槽串(5b)相对于所述共振器(1)的所述中轴(4)被同中心地放置，以使所述第一插槽串(5a)和所述第二插槽串(5b)的放置调整所述共振器(1)上的热弛豫路径长度，而不影响所述共振器(1)的共振频率，从而增加所述共振器(1)的所述品质因子。