发明名称 半导体器件结构及制造方法
摘要 本发明提供了半导体器件结构及制造方法。该半导体器件结构包括半导体衬底和位于半导体衬底上方的介电层。该半导体器件结构还包括位于介电层上方的导电迹线。该半导体器件结构还包括位于导电迹线上方的导电部件,并且导电部件的宽度基本上等于或大于导电迹线的最大宽度。另外,该半导体器件结构包括位于导电部件上方的导电凸块。
申请公布号 CN104916617A 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201410566501.6 申请日期 2014.10.22
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 李立国;刘永盛;刘宜臻;赖怡仁;陈俊仁;郑锡圭
分类号 H01L23/498(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L23/498(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;李伟
主权项 一种半导体器件结构,包括:半导体衬底;介电层,位于所述半导体衬底上方;导电迹线,位于所述介电层上方;导电部件,位于所述导电迹线上方,其中,所述导电部件的宽度基本上等于或大于所述导电迹线的最大宽度;以及导电凸块,位于所述导电部件上方。
地址 中国台湾新竹