发明名称 |
半导体器件结构及制造方法 |
摘要 |
本发明提供了半导体器件结构及制造方法。该半导体器件结构包括半导体衬底和位于半导体衬底上方的介电层。该半导体器件结构还包括位于介电层上方的导电迹线。该半导体器件结构还包括位于导电迹线上方的导电部件,并且导电部件的宽度基本上等于或大于导电迹线的最大宽度。另外,该半导体器件结构包括位于导电部件上方的导电凸块。 |
申请公布号 |
CN104916617A |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
CN201410566501.6 |
申请日期 |
2014.10.22 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
李立国;刘永盛;刘宜臻;赖怡仁;陈俊仁;郑锡圭 |
分类号 |
H01L23/498(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/498(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种半导体器件结构,包括:半导体衬底;介电层,位于所述半导体衬底上方;导电迹线,位于所述介电层上方;导电部件,位于所述导电迹线上方,其中,所述导电部件的宽度基本上等于或大于所述导电迹线的最大宽度;以及导电凸块,位于所述导电部件上方。 |
地址 |
中国台湾新竹 |