用于沉积多晶硅的方法

摘要

本发明涉及用于分离多晶硅的方法，包括使包含含硅组分和氢气的反应气体通过反应器，从而多晶硅以棒的形式沉积，其特征在于一旦沉积完成，则打开反应器并通风一段特定的时间。

主权项

一种用于沉积多晶硅的方法，包括将包括含硅组分和氢的反应气体引入至反应器，其结果是多晶硅以棒形式沉积，其中，所述沉积结束之后，打开所述反应器并通风一特定的时间段。