| 发明名称 | 使用集成MEMS开关的PMUT阵列 | ||
| 摘要 | 描述了可开关微机械转换器阵列，其中微电机械系统(MEMS)开关或继电器与转换器元件单片集成。在实施方式中，MEMS开关被实施在与转换器阵列相同的基板，以实施一个或多个逻辑、寻址或转换器控制功能。在实施方式中，阵列的每个转换器元件是耦合到至少一个MEMS开关的压电元件以在阵列内提供元件级寻址。在某些实施方式中，在转换器中使用的相同的压电材料被用在MEMS开关中。 | ||
| 申请公布号 | CN104919520A | 申请公布日期 | 2015.09.16 |
| 申请号 | CN201480004058.1 | 申请日期 | 2014.01.30 |
| 申请人 | 富士胶片戴麦提克斯公司 | 发明人 | A·哈贾蒂 |
| 分类号 | G10K11/34(2006.01)I | 主分类号 | G10K11/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 罗攀;肖冰滨 |
| 主权项 | 一种压电微机械转换器(pMUT)阵列，包括：转换器基板；设置在所述转换器基板的第一区域上的多个压电转换器；以及耦合到所述多个转换器的多个MEMS开关，其中所述MEMS开关的状态控制对所述多个压电转换器中单独的转换器的接入。 | ||
| 地址 | 美国新罕布什尔州 | ||