基于薄板的化学浴沉积设备;WEB-BASED CHEMICAL BATH DEPOSITION APPARATUS

摘要

本发明提供的是用于从流体混合物而在薄板上形成层的方法和系统。本系统包括流体传递设备，其传递流体混合物到薄板上。流体传递设备包括瀑布装置和化学配送装置。本系统也包括流体搅动设备，其包括定位在薄板上方的至少一风扇，并且建构成当该层正在形成时产生流动样式以搅动薄板上的流体混合物，而该至少一风扇不接触流体混合物。本系统进一步包括流体移除设备，其具有清洗装置和抽吸装置。清洗装置建构成配送清洗流体到薄板上。抽吸装置建构成在形成层之后藉由抽吸而移除薄板上所剩余的清洗流体和流体混合物的剩余部分。