高压型加速器的自动高压锻炼方法及自动高压锻炼系统

摘要

本发明公开了一种高压型加速器的自动高压锻炼方法及自动高压锻炼系统。该自动高压锻炼系统包括：一测量模块，用于测量真空度值和离子泵流值；一用于检测打火的打火检测模块；一第一判断模块，用于判断真空度值和离子泵流值是否符合增大电压的条件；一报警模块；一第二判断模块，用于判断当前电压值是否小于最终电压值；一高压保持模块，用于保持最终电压值一段时间，完成高压锻炼；一升压模块，用于逐步增大电压。本发明的高压型加速器的自动高压锻炼方法及自动高压锻炼系统通过实时测量真空度值和离子泵流值并在测得的值满足一定条件时加大电压，能够自动完成高压锻炼过程，降低人力成本的同时更有效地保护高压型加速器和真空系统设备。

主权项

一种高压型加速器的自动高压锻炼方法，其特征在于，实时检测打火现象，在检测到打火现象的情况下终止流程，该自动高压锻炼方法包括以下步骤：S₁₀₁、将当前电压值作为一初始电压值，设定一最终电压值；S₁₀₂、实时测量一第一时长范围内的真空度值和离子泵流值，将该第一时长范围内的真空度值的最大值作为真空度最大值、将该第一时长范围内的离子泵流值的最大值作为离子泵流最大值；S₁₀₃、对一第二时长范围内的真空度最大值和离子泵流最大值，判断是否有任意一真空度最大值小于预设的一真空度上限值以及是否有任意一离子泵流最大值小于预设的一离子泵流上限值，在两个判断结果中均为是的情况下执行步骤S₁₀₅，在两个判断结果中有至少一个为否时执行步骤S₁₀₄；S₁₀₄、发出一报警信息并终止流程；S₁₀₅、判断当前电压值是否小于该最终电压值，在判断结果为否的情况下执行步骤S₁₀₆，在判断结果为是的情况下执行步骤S₁₀₇；S₁₀₆、保持当前电压值不变达一第一时间间隔后，将当前电压值降至预设的一低压值，发出一成功信息并终止流程；S₁₀₇、将当前电压值加上一电压增加值作为一目标电压值；S₁₀₈、逐步增大电压直至当前电压值达到该目标电压值时，执行该步骤S₁₀₂。