发明名称 非易失性存储器器件及其制造方法
摘要 本发明涉及非易失性存储器器件及其制造方法。根据一个实施例,非易失性存储器器件包括:在第一方向延伸的第一互连;在第二方向延伸的第二互连,以及所述第二互连的下端位于所述第一互连之上;在第三方向延伸的多个第三互连,以及所述第三互连被布置在所述第二方向;在所述第二互连和所述第三互连之间提供的电流限制层;在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的金属离子源层;在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的电阻改变层;以及在所述第一互连和所述第二互连的所述下端之间提供的选择器。
申请公布号 CN104916657A 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201410282792.6 申请日期 2014.06.23
申请人 株式会社 东芝 发明人 松并绚也;市毛正之;今野拓也;杉前纪久子
分类号 H01L27/24(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I 主分类号 H01L27/24(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 牛南辉;杨晓光
主权项 一种非易失性存储器器件,所述器件包括: 在第一方向延伸的第一互连; 在与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二互连,以及所述第二互连的下端位于所述第一互连之上; 在第三方向延伸的多个第三互连,所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向交叉,并且所述第三互连被布置在第二方向; 在所述第二互连和所述第三互连之间提供的电流限制层; 在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的金属离子源层; 在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的电阻改变层;以及 在所述第一互连和所述第二互连的所述下端之间提供的选择器。 
地址 日本东京都