发明名称 |
非易失性存储器器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及非易失性存储器器件及其制造方法。根据一个实施例,非易失性存储器器件包括:在第一方向延伸的第一互连;在第二方向延伸的第二互连,以及所述第二互连的下端位于所述第一互连之上;在第三方向延伸的多个第三互连,以及所述第三互连被布置在所述第二方向;在所述第二互连和所述第三互连之间提供的电流限制层;在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的金属离子源层;在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的电阻改变层;以及在所述第一互连和所述第二互连的所述下端之间提供的选择器。 |
申请公布号 |
CN104916657A |
申请公布日期 |
2015.09.16 |
申请号 |
CN201410282792.6 |
申请日期 |
2014.06.23 |
申请人 |
株式会社 东芝 |
发明人 |
松并绚也;市毛正之;今野拓也;杉前纪久子 |
分类号 |
H01L27/24(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
牛南辉;杨晓光 |
主权项 |
一种非易失性存储器器件,所述器件包括: 在第一方向延伸的第一互连; 在与所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二互连,以及所述第二互连的下端位于所述第一互连之上; 在第三方向延伸的多个第三互连,所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向交叉,并且所述第三互连被布置在第二方向; 在所述第二互连和所述第三互连之间提供的电流限制层; 在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的金属离子源层; 在所述电流限制层和所述第三互连之间提供的电阻改变层;以及 在所述第一互连和所述第二互连的所述下端之间提供的选择器。 |
地址 |
日本东京都 |