| 摘要 |
<p>기판 턴장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 턴장치는, 상호간 이격 배치되어 기판을 이송하는 다수의 롤러 컨베이어 유닛; 다수의 롤러 컨베이어 유닛에 이웃하게 배치되며, 기판의 턴(turn) 동작 또는 기판의 얼라인 동작 시 기판을 지지하는 기판 지지용 프레임을 선택적으로 척킹하는 척킹 유닛; 및 롤러 컨베이어 유닛과 척킹 유닛에 연결되며, 롤러 컨베이어 유닛과 척킹 유닛에 사용되는 케이블(Cable)을 대기(ATM)로 배출시키는 진공배관 유닛을 포함한다.</p> |
