检查单元;INSPECTION UNIT

摘要

本发明之检查单元系具备有：第1接触探针，系在与设置于一方接触对象物的表面之电极接触，并且与另一方接触对象物之电极接触；第2接触探针，系与设置于一方接触对象物的背面之电极接触，并且与基板之电极接触；第1探针保持具，系具有吸附并保持一方接触对象物之吸附保持部，并且收容并保持复数个第1接触探针；第2探针保持具，系收容并保持复数个第2接触探针；以及基底部，系积层于第1探针保持具，并且在与第1探针保持具的积层侧保持另一方接触对象物；而在另一方接触对象物与第1探针保持具之间形成有间隙。