基于脉冲调制扫描电源的朗缪尔探针诊断装置

摘要

本实用新型涉及一种基于脉冲调制扫描电源的朗缪尔探针诊断装置，该装置可用于诊断等离子体的密度、空间电位、电子温度等参数，其特征是使用脉冲调制的探针偏置电压代替传统的锯齿形三角波电压。本实用新型是由探针、运算放大器、数据采集卡和PC机构成。借助PC机利用数据采集卡生成偏置电压，通过运算放大器放大到-50V～+50V后加载到探针上，之后接入到等离子体上即可进行诊断。

主权项

一种基于脉冲调制扫描电源的朗缪尔探针诊断装置，其特征在于使用脉冲调制的探针偏置电压代替传统的锯齿形三角波电压；其结构特征在于PC机(4)与数据采集卡(3)之间连接，数据采集卡(3)与运算放大器(2)相连，运算放大器(2)与探针(1)相连。