带衬管铝及铝合金旋转靶材连续铸造工艺

摘要

带衬管铝及铝合金旋转靶材连续铸造工艺,包括：衬管准备、铝或铝合金熔解以及金属液浇铸成型。改善衬管表面的微观结构，增强金属铝与钢管的结合力，确保金属铝液相在凝固过程中完全与钢管结合牢固并且在后续使用过程中不与钢管分离；所有元素融合均匀，通过对浇铸炉体的气氛控制、浇注速度和冷却速度的控制来确保靶材取得优异的微观结构、靶材与钢管结合的程度以及避免气孔的产生。提高靶材的利用率和使用寿命；降低生产成本、靶材致密度高、晶粒大小分布均匀，适于平板显示面板的连接薄膜的制造。

主权项

带衬管铝及铝合金旋转靶材连续铸造工艺,其特征在于， 制备工艺包含以下步骤：A、以不锈钢管或钛管为Al旋转靶材的内衬管，衬管表面要进行喷砂处理，并在衬管上电弧喷镀一层过渡层，过渡层包含Ni、Cr、Al、Ti中的一种或几种；B、把衬管与铸铁的外模具组装起来，放入井式加热炉内进行预热，预热温度为400‑650℃；C、把纯度为4N以上的高纯铝放入中频感应熔炼炉内，盖上炉盖，通入氩气保护；D、打开加热电源，熔炼铝锭，等铝锭完全熔化后，把铝溶液浇铸在模具腔体内，浇铸温度为650‑750℃；E、浇铸完成后，关闭井式加热炉的加热开关；在模具冷却过程中，打开模具顶部的加热装置，通过模具顶部的熔融的Al液，对铸管进行补缩；F、完全冷却后，打开模具，取出铸管，根据图纸加工成旋转Al靶。