去离子水泄漏检测控制的装置

摘要

本发明提供一种去离子水泄漏检测控制的装置，用于DPS金属刻蚀机台的VDS系统，当漏水传感器侦测到VDS系统中有去离子水泄漏时，控制器生成控制去离子水停止输入的控制指令，使电磁阀开启压缩干燥空气的输气通道，将压缩干燥空气输入气动阀的控制端，将气动阀的进口端和出口端阻隔，则去离子水不能继续被输送至VDS系统，从而有效减少漏水的影响。

主权项

一种去离子水泄漏检测控制的装置，用于DPS金属刻蚀机台的VDS系统，其特征在于，所述装置包含：漏水传感器（10），设置于VDS系统中，来检测是否有去离子水泄漏并发送相应的感测信号；控制器（20），与所述漏水传感器（10）连接并根据接收到的所述感测信号，生成控制去离子水停止输入或继续输入的控制指令；电磁阀（30），与所述控制器（20）连接并根据接收到的所述控制指令，来开启或关闭压缩干燥空气的输气通道；气动阀（40），其设有的进口端（41）和出口端（42）接入至去离子水进入VDS系统之前的输入管道（50）上；该气动阀（40）的控制端（43）与压缩干燥空气的输气通道连接；当所述气动阀（40）的控制端（43）没有压缩干燥空气输入时，进口端（41）和出口端（42）相互连通，使去离子水能经由进口端（41）流向出口端（42），进而送至与气动阀（40）出口端（42）连通的VDS系统中；当气动阀（40）的控制端（43）有压缩干燥空气输入时，使进口端（41）和出口端（42）阻隔使去离子水不能被输送至VDS系统。