基板载体及应用其之处理系统与传输基板之方法;SUBSTRATE CARRIER AND PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR TRANSPORTING SUBSTRATE USING THE SAME

摘要

一种适用于使用在一处理系统中的基板载体包括一电极组及一支撑底座。电极组配置以产生一静电吸力，用以固定一基板于基板载体。支撑底座具有一加热/冷却槽形成于其中。电极组及支撑底座系形成一单一主体，配置以传输于处理系统中。一快卸连接器系耦接于主体且配置以在主体系与一热调节媒介之一源解除耦接时，限制热调节媒介于加热/冷却槽中。