用以磨光与清洗电极之转接器平板;ADAPTER PLATE FOR POLISHING AND CLEANING ELECTRODES

摘要

本发明揭示一种转接器平板，其系配置成可附接至清洗单元之通用平台，以供清洗来自电浆处理腔室的上电极，该转接器平板包含：支撑表面及安装表面，该安装表面系配置成被紧固至清洗单元之通用平台。该支撑表面系配置成支撑喷淋头电极组件之内电极或外电极，以供清洗该内电极或该外电极的上或下表面。该支撑表面具有：第一组孔，用以容纳接合于内电极之上表面中的销；第二组孔，用以容纳围绕内电极之外周的销；第三组孔，用以容纳接合于外电极之上表面中的销；及第四组孔，用以容纳围绕外电极之外周的销。