四线式静电驱动器和固定件

摘要

四线式静电驱动器（100）具备：具有在基板的一个面分别独立设置、互相平行以等间隔配置的四条用于主动作的线状电极（1a～1d）的固定件（1），和固定件（1）上配置的移动件（2）。四条用于主动作的线状电极（1a～1d）中，向第一和第三用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或正弦波信号，向第二和第四用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向相邻两个电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度。在四条用于主动作的线状电极（1a～1d）的一侧设有与四条用于主动作的线状电极（1a～1d）正交的方向延伸的多条用于辅助动作的线状电极（1s～1v），向多条用于辅助动作的线状电极（1s～1v）输入相位互不相同的矩形波信号或正弦波信号。

主权项

一种四线式静电驱动器，其特征在于，具备：固定件，具有：具有一个面和另一个面的基板，和在所述基板的一个面分别独立设置、互相平行以等间隔配置的至少四条用于主动作的线状电极；以及移动件，配置在所述固定件上，四条用于主动作的线状电极中，向第一用于主动作的线状电极和第三用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向第二用于主动作的线状电极和第四用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向相邻的两个电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度，在所述四条用于主动作的线状电极的一侧，设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条一侧用于辅助动作的线状电极，向所述多条一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号，在所述四条用于主动作的线状电极的另一侧，设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条另一侧用于辅助动作的线状电极，向所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号。