发明名称 Device for measuring the pressure in a vacuum
摘要 <p>Es wird eine Vorrichtung (40) zur Bestimmung des Drucks in einer evakuierten Vakuumkammer (20) angegeben. Die Vorrichtung (40) umfaßt einen nach außen abstehenden und vakuumdicht mit der Vakuumkammer (20) verbundenen evakuierten Meßstutzen (30), welcher einen Gasreibungssensor enthält, welcher durch ein von einem in Arbeitsposition auf dem Meßstutzen (30) aufgesetzten Meßkopf erzeugtes Magnetfeld berührungslos angeordnet und in Rotation versetzbar ist. Zwischen der Vakuumkammer (20) und dem Meßstutzen (30) ist ein biegbares Metallrohr (41) angeordnet, das mit einem Ende vakuumdicht mit dem Meßstutzen (30) und mit dem anderen Ende vakuumdicht mit der Vakuumkammer (20) verbunden ist.</p>
申请公布号 EP2918986(A1) 申请公布日期 2015.09.16
申请号 EP20140305338 申请日期 2014.03.10
申请人 NEXANS 发明人 SOIKA, RAINER;DI PALMA, MICHELE;MARZAHN, ERIK
分类号 G01L21/24;G01L19/00 主分类号 G01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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