摘要 |
<p>Es wird eine Vorrichtung (40) zur Bestimmung des Drucks in einer evakuierten Vakuumkammer (20) angegeben. Die Vorrichtung (40) umfaßt einen nach außen abstehenden und vakuumdicht mit der Vakuumkammer (20) verbundenen evakuierten Meßstutzen (30), welcher einen Gasreibungssensor enthält, welcher durch ein von einem in Arbeitsposition auf dem Meßstutzen (30) aufgesetzten Meßkopf erzeugtes Magnetfeld berührungslos angeordnet und in Rotation versetzbar ist. Zwischen der Vakuumkammer (20) und dem Meßstutzen (30) ist ein biegbares Metallrohr (41) angeordnet, das mit einem Ende vakuumdicht mit dem Meßstutzen (30) und mit dem anderen Ende vakuumdicht mit der Vakuumkammer (20) verbunden ist.</p> |