一种高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置

摘要

本实用新型公开了一种高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置，其特征在于：包括釜体（3）和法兰盖（1），釜体（3）内有托盘架（4），托盘架（4）上可置多个加热托盘（5），加热托盘（5）呈环带形，加热托盘（5）有四周折边（6）和折边（7），四周折边（6）和折边（7）上有通气缺口（8）；四周折边（6）与釜体（3）内壁形成气体排出通道（11），折边（7）之间也组成气体排出道（12）；法兰盖（1）顶部连接有出气管（2）；法兰盖（1）通过连接螺栓（10）和垫圈（9）与釜体（3）连接。本实用新型采用分盘、静态的方式加热分解氟硅酸钠制备四氟化硅气体，具有装置结构简单、强度要求低，易制备高纯度四氟化硅气体的优点。

主权项

一种高温分解氟硅酸钠制备四氟化硅的装置，其特征在于：包括釜体（3）和法兰盖（1），釜体（3）内有托盘架（4），托盘架（4）上可置多个加热托盘（5），加热托盘（5）呈环带形，加热托盘（5）有四周折边（6）和中央折边（7），四周折边（6）和中央折边（7）上有通气缺口（8）；四周折边（6）与釜体（3）内壁形成气体排出通道（11），中央折边（7）之间也组成中央气体排出道（12）；法兰盖（1）顶部连接有出气管（2）。