用于射频整合式被动元件之具有减低射频损失之高阻値矽基板;HIGH-RESISTIVE SILICON SUBSTRATE WITH A REDUCED RADIO FREQUENCY LOSS FOR A RADIO-FREQUENCY INTEGRATED PASSIVE DEVICE

摘要

本申请案有关一种用于射频整合式被动元件之具有减低射频损失的高阻值矽基板。该基板包含一主体区含有高阻值主体矽，及一保存的下表面晶格损害区含有破裂的矽在该主体区上方。该晶格损害区系被处理于该基板中，且该保存的晶格损害区系构制成能藉抑制一寄生表面传导来达到该基板的射频损失减低。